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簡要描述:腐蝕性氣體分析質譜儀HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器,快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體,如反應中間產物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體。
品牌 | 其他品牌 | 最小檢測分壓 | 5E-14 mbar |
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檢測限 | 5ppb | 質量數(shù)范圍 | 510amu |
價格區(qū)間 | 100萬-150萬 | 產地類別 | 進口 |
應用領域 | 化工,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,電氣 |
20年前,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質譜儀,初期主要應用于半導體行業(yè)的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強氧化性氣體如CIF3、NF3等。
20年來,Hiden在這一細分領域具有強大的產品力,針對不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。
HPR-80腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物。
主要特點:
1、連接件電拋光工藝處理
2、取樣壓力:1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級過濾四極桿
4、檢測限可達 5 ppb
5、QGA專業(yè)版定量分析軟件
下一產品:PTR-TOF QBVOCs走航質譜儀
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